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掃描電子顯微鏡的原理是什么 掃描電子顯微鏡有哪些用途

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摘要:掃描電子顯微鏡,是自上世紀(jì)60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學(xué)儀器,被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。接下來本文將重點介紹掃描電子顯微鏡的原理是什么以及掃描電子顯微鏡有哪些用途,一起到文中來看看吧!

一、掃描電子顯微鏡的原理是什么

掃描電子顯微鏡已成為現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的重要工具,在正式使用之前,我們來看看掃描電子顯微鏡的原理是什么吧!

掃描電子顯微鏡(SEM)是一種介于透射電子顯微鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種觀察手段。其原理是利用材料表面微區(qū)的特征(如形貌、原子序數(shù)、化學(xué)成分、或晶體結(jié)構(gòu)等)的差異,在電子束作用下通過試樣不同區(qū)域產(chǎn)生不同的亮度差異,從而獲得具有一定襯度的圖像。

二、 掃描電子顯微鏡有哪些用途

掃描電子顯微鏡可應(yīng)用于陶瓷材料分析、金屬材料失效分析。在石油、地質(zhì)、礦物領(lǐng)域,電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域,醫(yī)學(xué)、生物學(xué)領(lǐng)域,化工、高分子材料領(lǐng)域,公安刑偵工作領(lǐng)域,以及農(nóng)、林業(yè)等方面都有廣泛應(yīng)用。

掃描電子顯微鏡可進行顯微形貌分析,如果配備了其它分析儀器也可進行成分的常規(guī)微區(qū)分析,包括元素定量、定性成分分析。進行顯微形貌分析時,空間分辨率可達亞微米級;能夠進行晶界的狀態(tài)測量,或者晶體/晶粒的相鑒定,以及晶體、晶粒取向測量等;進行微區(qū)成分分析時,能夠通過快速的多元素面掃描和線掃描進行分布測量。

在現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)和科學(xué)研究中,掃描電子顯微鏡發(fā)展成為材料分析、監(jiān)控工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)、保證產(chǎn)品質(zhì)量、保障大生產(chǎn)流程安全高效的必要手段;同時在生物、環(huán)保、醫(yī)學(xué)等有關(guān)人類的生存、發(fā)展領(lǐng)域的應(yīng)用也日新月異;在軍事現(xiàn)代高科技方面的發(fā)展(例如生物武器、化學(xué)武器戰(zhàn)爭、現(xiàn)場毒物檢測、生命保障任務(wù)等)發(fā)揮了巨大的作用。

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