一、探針的種類有哪些

在晶圓或芯片測(cè)試的過(guò)程中，通常會(huì)使用探針來(lái)準(zhǔn)確連接晶圓或芯片的引腳或錫球與測(cè)試機(jī)，以便檢測(cè)產(chǎn)品的導(dǎo)通性、電流性、功能性和老化性等性能指標(biāo)。那么你知道探針的種類有哪些嗎？

1、就結(jié)構(gòu)而言，常見(jiàn)的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個(gè)由螺旋彈簧組成的探針，其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起，以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對(duì)被測(cè)試物體的壓力。在檢測(cè)集成電路時(shí)，信號(hào)會(huì)從下柱栓流向上方，形成導(dǎo)電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移，用于通過(guò)橫向懸臂接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品，以避免探針部對(duì)待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過(guò)大的針壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對(duì)應(yīng)高密度信號(hào)觸點(diǎn)的待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列，針尖接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過(guò)針體本身的彈性變形來(lái)提供。

2、根據(jù)探針材料的劃分，常見(jiàn)的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針具有穩(wěn)定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發(fā)生探針偏差。因此，鎢髁合金探針是目前性能良好的一種常見(jiàn)探針。

3、根據(jù)探針的工作頻率，探針?lè)譃橥S探針和普通探針

同軸探針用于對(duì)測(cè)試頻率比較敏感的測(cè)試環(huán)境；普通探針用于對(duì)信號(hào)衰減不敏感的測(cè)試環(huán)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質(zhì)通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學(xué)惰性和機(jī)械性能，對(duì)探測(cè)的液體和氣體有不同的適應(yīng)性。

（2）形狀：選擇探針的形狀應(yīng)該根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行選擇，通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等?？紤]到實(shí)驗(yàn)的靈敏度問(wèn)題，在選用探針時(shí)必須與被測(cè)物相匹配。

（3）長(zhǎng)度：探針的長(zhǎng)度是下降液面幅度的關(guān)鍵因素。為獲得準(zhǔn)確的下降水平，要根據(jù)實(shí)際測(cè)量需求選擇合適的長(zhǎng)度。

（4）直徑：探針的粗細(xì)通常采用0.5mm至5mm之間。過(guò)粗的探針會(huì)影響測(cè)量的靈敏度，過(guò)細(xì)的探針則可能會(huì)導(dǎo)致探針的折斷。

（5）表面處理：在實(shí)驗(yàn)中，探針處于探測(cè)的介質(zhì)中，探針的表面形態(tài)和性質(zhì)會(huì)直接影響到測(cè)量結(jié)果。因此，探針的表面要求經(jīng)過(guò)光潔處理和表面處理。

2、探針的要求

（1）質(zhì)量問(wèn)題：在使用過(guò)程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測(cè)量誤差增大，嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

（2）加工工藝問(wèn)題：在探針的制作過(guò)程中，要保證探針的形狀、尺寸的精確與穩(wěn)定。

（3）使用注意事項(xiàng)：避免在測(cè)量過(guò)程中引入空氣，勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測(cè)量，對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測(cè)量的情況要確保探針之間的長(zhǎng)度和間距足夠。

（4）存儲(chǔ)和保養(yǎng)問(wèn)題：盡可能地保證存儲(chǔ)環(huán)境無(wú)除塵、避光性好；探針表面不能有刮傷等損壞，使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。