1961年,畢業(yè)于清華大學(xué)無(wú)線電電子工程系,隨后進(jìn)入中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所工作。
1986年,調(diào)入中國(guó)科學(xué)院微電子中心(現(xiàn)中國(guó)科學(xué)院微電子研究所)工作。
1986年 - 1989年,擔(dān)任中國(guó)科學(xué)院微電子中心第一屆副主任。
1991年 - 1997年,擔(dān)任中國(guó)科學(xué)院微電子中心第二屆、第三屆主任。
1991年,當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員(院士)。
1992年,被國(guó)家科學(xué)技術(shù)委員會(huì)聘為“深亞微米結(jié)構(gòu)器件和介觀物理”項(xiàng)目首席科學(xué)家。
1991年,當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員(院士)。
1992年,榮獲全國(guó)“三八”紅旗手稱號(hào)。
1992年,榮獲“九五”國(guó)家重大科技攻關(guān)先進(jìn)個(gè)人稱號(hào)。
2004年,榮獲“何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)”。
1998年,項(xiàng)目《全套0.8微米CMOS工藝技術(shù)》榮獲“中國(guó)科學(xué)院科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)”。
1999年,項(xiàng)目《全套0.8微米CMOS工藝技術(shù)》榮獲“國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)”。
2003年,項(xiàng)目《先進(jìn)的深亞微米工藝技術(shù)及新型器件》榮獲“北京市科學(xué)技術(shù)一等獎(jiǎng)”。