1、就結(jié)構(gòu)而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈性探針是一個(gè)由螺旋彈簧組成的探針，其兩端連接在上下柱栓上。螺旋彈簧的中間部分緊密纏繞在一起，以防止產(chǎn)生額外的電感和附件電阻。而彈簧的兩端部分則被稀疏纏繞，以降低探針對(duì)被測(cè)試物體的壓力。在檢測(cè)集成電路時(shí)，信號(hào)會(huì)從下柱栓流向上方，形成導(dǎo)電路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移，用于通過橫向懸臂接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品，以避免探針部對(duì)待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過大的針壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對(duì)應(yīng)高密度信號(hào)觸點(diǎn)的待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列，針尖接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過針體本身的彈性變形來提供。

2、根據(jù)探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針具有穩(wěn)定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易發(fā)生探針偏差。因此，鎢髁合金探針是目前性能良好的一種常見探針。

3、根據(jù)探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用于對(duì)測(cè)試頻率比較敏感的測(cè)試環(huán)境；普通探針用于對(duì)信號(hào)衰減不敏感的測(cè)試環(huán)境。