著錄信息
- 專利名稱：一種氧化物陶瓷濺射靶的制備方法
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN201110262874.0
- 公開(公告)號：CN102409299B
- 申請日：20110907
- 公開(公告)日：20140806
- 申請人：三峽大學(xué),孫宜華,湖北三峽新型建材股份有限公司
- 發(fā)明人：孫宜華,呂鑫
- 申請人地址：443002 湖北省宜昌市大學(xué)路8號
- 申請人區(qū)域代碼：CN420502
- 專利權(quán)人：三峽大學(xué),孫宜華,湖北三峽新型建材股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C23C14/34,C23C14/08,B23K1/19,B23K35/26,C22C13/00
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：宜昌市三峽專利事務(wù)所 42103
- 代理人：成鋼
- 審查員：張占江
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
背板,連接,陶瓷靶材,濺射靶,氧化物陶瓷,功率密度,釬焊合金,靶材,合金,釬料潤濕性,抗剪強(qiáng)度,連接材料,特定含量,穩(wěn)定濺射,真空濺射,制備方法,低成本,高效率,過渡層,極薄
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