一、光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x是什么

光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x也叫白光干涉儀，是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的3D三維測(cè)量?jī)x器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x是以白光干涉測(cè)量技術(shù)為基礎(chǔ)而研發(fā)生產(chǎn)的，采用的是非接觸式光學(xué)測(cè)量，在獲得實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)的同時(shí)，不會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成任何損傷，從而有效節(jié)約了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，并且在線檢測(cè)，沒有滯后性，從而減少不合格品，對(duì)表面缺陷檢測(cè)亦如此。

在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x，其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。

光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x的優(yōu)點(diǎn)：

1、非接觸高精密測(cè)量，不會(huì)劃傷甚至破壞工件。

2、測(cè)量速度快，不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測(cè)量。

3、不必作探頭半徑補(bǔ)正，光點(diǎn)位置就是工件表面測(cè)量的位置。

4、對(duì)高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測(cè)量結(jié)果。

二、光學(xué)3d輪廓測(cè)量?jī)x的參數(shù)有哪些

1、Z向分辨率：0.1nm

2、橫向分辨率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

4、表面形貌重復(fù)性：0.1nm

5、臺(tái)階測(cè)量：重復(fù)性：0.1%；準(zhǔn)確度：0.75%

6、主要特點(diǎn)：非接觸式無損檢測(cè)，一鍵分析、快速高效。