著錄信息
- 專利名稱：一種熱絕緣微橋結(jié)構(gòu)及其加工方法
- 專利類型：發(fā)明
- 申請(qǐng)?zhí)枺?/em>CN200710067914.X
- 公開(公告)號(hào)：CN101249935B
- 申請(qǐng)日：20070331
- 公開(公告)日：20110622
- 申請(qǐng)人：浙江大立科技股份有限公司
- 發(fā)明人：姜利軍,羅雯雯
- 申請(qǐng)人地址：310053 浙江省杭州市濱康路639號(hào)
- 申請(qǐng)人區(qū)域代碼：CN330108
- 專利權(quán)人：浙江大立科技股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：B81B3/00,B81C1/00
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：浙江杭州金通專利事務(wù)所有限公司 33100
- 代理人：徐關(guān)壽
- 審查員：姚宇鹯
- 國際申請(qǐng)：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請(qǐng)：無
關(guān)鍵詞
微橋結(jié)構(gòu),微橋,皺褶結(jié)構(gòu),懸臂梁,凹槽結(jié)構(gòu),犧牲材料,犧牲層,襯底,沉積,微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù),紅外線輻射源,微細(xì)加工方法,紅外探測器,氣體探測器,微機(jī)電系統(tǒng),絕熱,襯底表面,加工方法,加熱平臺(tái),填充因子,材料層,制冷,生長
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