1960年，畢業(yè)于吉林工業(yè)大學(xué)機械制造專業(yè)。
1960年至1998年，在中科院長春光學(xué)精密機械研究所從事超精密齒輪制造研究工作。
20世紀80年代和90年代，開展激光光盤刻錄母機和微型機械研究工作。
1991年，當(dāng)選中國科學(xué)院院士。
1992年，組建中國第一個微型機械研究室。
1996年，負責(zé)撰寫“十五”863 MEMS發(fā)展規(guī)劃。同年被聘為大連理工大學(xué)教授，兼任機械工程系學(xué)術(shù)委員會主任。
1998年12月，正式調(diào)轉(zhuǎn)至大連理工大學(xué)工作，先后擔(dān)任大連理工大學(xué)機械工程學(xué)院學(xué)術(shù)委員會主任、校學(xué)位委員會副主任，微機電系統(tǒng)研究中心主任。
1999年，組建大連理工大學(xué)跨院系、跨學(xué)科的微系統(tǒng)研究中心。
2003年，參與撰寫國家中長期科學(xué)與技術(shù)發(fā)展規(guī)劃中的納米技術(shù)與微系統(tǒng)分專題。
2004年，組建遼寧省微納米技術(shù)及系統(tǒng)重點實驗室/微系統(tǒng)與微制造遼寧省高校重點實驗室。
2014年，擔(dān)任2011高端制造裝備協(xié)同創(chuàng)新中心工藝首席科學(xué)家。
2018年8月29日，當(dāng)選中國儀器儀表學(xué)會會士。
1985，獲“吉林省有突出貢獻的中青年科技人才”稱號。
1991，獲“中國科學(xué)院先進工作者”。
2003，獲“大連市特等勞動模范”稱號。
2004，獲“遼寧省五一勞動獎?wù)隆薄?/p>
1978年，《高精度小模數(shù)標(biāo)準(zhǔn)齒輪》獲“全國科學(xué)大會獎”。
1985年，《超精密齒輪工藝技術(shù)》獲“國家科技進步二等獎”。
1992年，《光盤伺服槽及預(yù)制格式刻劃機》獲“國家科技進步二等獎”。
1999年，《高精度漸開線樣板》獲“國家科技進步三等獎”。
