浙江博開機電科技有限公司創(chuàng)立于2009年3月，是國家級專精特新“小巨人”企業(yè)與高新技術企業(yè)。公司在超低溫制冷機、低溫真空泵方面突破了關鍵設計技術和制造工藝難題，解決了大量卡脖子問題，實現(xiàn)核心技術及部件的自主可控，研制成功應用于不同領域的系列化的低溫制冷機、不同口徑的低溫真空泵等產(chǎn)品?，F(xiàn)有低溫泵系列包含200-1800型號，配套的GM制冷機系列產(chǎn)品已開發(fā)4K、10K、70K等型號，極限低溫可達-271℃，極限真空度可達10-9Pa。公司自主研發(fā)的智能型超高真空冷泵，不僅能快速建立并穩(wěn)定維持10??Pa級別的超高真空環(huán)境，還比傳統(tǒng)產(chǎn)品節(jié)能30%以上。該產(chǎn)品已成功應用于國內(nèi)多家主流半導體晶圓廠，在PVD、離子注入等核心裝備上實現(xiàn)了國產(chǎn)化替代。

公司核心團隊在低溫、真空領域有十六余年技術積累。公司低溫真空泵具備完全的自主知識產(chǎn)權(quán)，主打抽速大、極限真空度高、運行成本低等特點，旨在替代進口產(chǎn)品，主要服務于半導體和泛半導體行業(yè)的鍍膜制造工藝、航空航天等領域，公司產(chǎn)品打破了國外長期壟斷，并已覆蓋全國、推向全球。企業(yè)總部位于浙江金華，構(gòu)建了“金華總部 + 合肥研發(fā)銷售中心”的雙中心發(fā)展格局。公司秉持“規(guī)范、高效、專業(yè)、超越”的核心理念，深耕行業(yè)十六載，致力于打造中國低溫真空行業(yè)標桿，為高端制造與前沿科研提供核心支撐。

核心業(yè)務與產(chǎn)品

1.公司聚焦低溫真空產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術服務，形成三大核心產(chǎn)品體系：

低溫真空泵系列：覆蓋200mm—1800mm全口徑規(guī)格，含DZB系列、IG系列等，采用無油設計，可實現(xiàn)10-7 Pa級超高潔凈真空，適配半導體先進制程等場景。

氦氣壓縮機系統(tǒng)：推出HC50W、HC80W、HC200W三大型號，以99.999%高純氦氣為介質(zhì)，可與低溫制冷機無縫銜接，廣泛應用于半導體生產(chǎn)線。

水汽捕集器：通過專利級低溫冷凝技術，精準捕集水蒸氣及高沸點蒸汽，為高潔凈度真空環(huán)境提供保障。

技術創(chuàng)新與資質(zhì)

公司以技術創(chuàng)新為核心競爭力，組建專業(yè)研發(fā)團隊并與高等院校深度合作，累計擁有46項專利、3項軟件著作權(quán)及1個注冊商標，2025年最新申請的“一種低溫制冷機及制冷方法”專利顯著提升制冷效率。產(chǎn)品通過ISO9001、CE等多項國際認證，憑借自主核心技術打破國外品牌在高端市場的壟斷，實現(xiàn)國產(chǎn)化替代。

市場與服務

公司產(chǎn)品廣泛服務于集成電路制造、平板顯示、新材料研究等戰(zhàn)略新興領域，遠銷海外，已在國內(nèi)多家頭部半導體企業(yè)7nm工藝生產(chǎn)線成功應用，助力芯片良率提升。建立全周期服務體系，提供從售前方案咨詢、售中調(diào)試到售后維護的一站式解決方案，全國服務網(wǎng)點保障快速響應。

浙江博開機電科技有公司，創(chuàng)立于2009年3月，實繳資本1000萬元，2025年11月引入智路資本，是一家致力于將超低溫、超高真空技術在半導體及泛半導體、核技術、高端儀器、光學鍍膜等領域中應用落地并形成產(chǎn)業(yè)化的高科技企業(yè)。公司現(xiàn)有員工100+，管理團隊具備理、工、管專業(yè)背景，在超低溫、超高真空行業(yè)具有16年以上研發(fā)、生產(chǎn)、市場、供應鏈管理等范圍的豐富經(jīng)驗。研發(fā)人員人數(shù)占比超30%。