著錄信息
- 專利名稱：一種全解耦雙軸電容式微機(jī)械加速度計
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN200910242283.X
- 公開(公告)號：CN101876665B
- 申請日：20091211
- 公開(公告)日：20120425
- 申請人：紫光股份有限公司
- 發(fā)明人：高宏,王慶
- 申請人地址：北京市海淀區(qū)清華大學(xué)紫光大樓605室
- 申請人區(qū)域代碼：CN110108
- 專利權(quán)人：紫光股份有限公司
- 洛迦諾分類：無
- IPC：G01P15/125,B81B7/02
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
- 代理人：羅文群
- 審查員：臧自欣
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
加速度計,電極,固定,敏感質(zhì)量,折疊梁,電容,隔離,立柱,雙軸,方框,慣性傳感器,微機(jī)電系統(tǒng),測量誤差,橫向隔離,交叉耦合,縱向固定,高精度,加速度
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