一、真空手套箱的使用方法

操作前

1、檢查氮?dú)馄坷锸欠裼械獨(dú)?，氮?dú)庖皶r(shí)更換，氮?dú)獾妮敵鰤毫υO(shè)定為0.5mpa。

2、檢查真空泵是否正常開啟。

3、檢查手套箱內(nèi)循環(huán)是否打開。（凈化柱-I或凈化柱-II要打開其中的一個）

4、檢查設(shè)定里的上限壓力應(yīng)為 1，下限壓力為0。

5、檢查氧和露點(diǎn)是否正常（氧為0.1ppm以下，露點(diǎn)-40以上）。

6、過渡艙真空泵應(yīng)處于常開狀態(tài)。

操作時(shí)

1、系統(tǒng)工作中真空泵應(yīng)保持開啟狀態(tài)。

2、當(dāng)箱內(nèi)氧氣濃度超出200PPM時(shí)，應(yīng)通知設(shè)備維修人員進(jìn)行系統(tǒng)操作，否則會破壞水、氧凈化系統(tǒng)。

3、在啟動循環(huán)前做檢查，是否在進(jìn)行箱體情況或再生。如以上提及的操作正在進(jìn)行，絕對禁止進(jìn)行循環(huán)。

4、兩個凈化柱不可以同時(shí)再生。

A、再生前先保證手套箱內(nèi)已被惰性氣體清洗干凈（H2O<200ppm）保證足夠的再生氣體供應(yīng)。再生氣體壓力為0.06-0.08mpa。

B、啟動再生之前，請先確認(rèn)相應(yīng)的凈化柱循環(huán)已關(guān)閉。

C、再生過程需要24小時(shí)，一旦執(zhí)行不能被斷開，再生開始后3-6小時(shí)通再生氣體注意再生氣的用量，適當(dāng)調(diào)整再生氣體的壓力，包證再生氣在這3小時(shí)的充足供應(yīng)，第6小時(shí)后可以關(guān)閉再生氣源。

D、再生過程中真空泵不可以關(guān)閉，不要觸摸凈化柱的頂部，以防燙傷。

E、再生一旦意外終止，請保證12小時(shí)內(nèi)不能重新啟動該凈化柱的再生和循環(huán)否則將損壞設(shè)備。

5、作業(yè)中應(yīng)注意保護(hù)作業(yè)手套不要被損壞。

二、真空手套箱的使用注意事項(xiàng)

1、請使用AC220V－50HZ的電源供電，同時(shí)注意設(shè)備的接地良好。

2、建議使用H2含量為5％－10％的混合氣源。H2含量低于5％，系統(tǒng)還原效果差；H2含量高于10％，可能會產(chǎn)生爆炸。

3、使用的氣源（混合氣體或惰性氣體）請保證其壓力值X的范圍如下：3kg≤X≤30kg（3bar≤X≤30bar；0.3MPA≤X≤3MPA）；當(dāng)氣源的壓力值低于3kg時(shí)，系統(tǒng)不工作；當(dāng)氣源的壓力值高于30kg時(shí)，管道可能會破裂。

4、氣體凈化系統(tǒng)補(bǔ)水箱內(nèi)必須保證有充足的循環(huán)冷卻水，否則系統(tǒng)工作時(shí)會產(chǎn)生高溫。冷卻水的水源禁止使用冰鹽水或其他腐蝕性的液體。建議使用普通的自來水。

5、不得對真空手套箱箱體進(jìn)行抽真空或充高正壓，箱體承受壓力范圍為：-3000Pa～ 3000Pa。

6、不得擊打、不得用利器劃傷箱體玻璃面板。

7、在對過渡艙抽真空時(shí)必須將過渡艙內(nèi)門、外門，過渡艙上的閥門以及過渡艙與箱體連接的閥門全部關(guān)閉（除“過渡艙真空閥”），以免使箱體形成負(fù)壓而損壞箱體。

8、過渡艙內(nèi)門和外門不得同時(shí)打開，以免外部氣體直接擴(kuò)散到箱體內(nèi)，破壞潔凈環(huán)境。

9、大過渡艙門要完全打開后才能推動門桿把門打開，以免擦刮破壞密封膠圈。

10、在開啟過渡艙內(nèi)門前必須先保證過渡艙和箱體之間的壓力達(dá)到了平衡，否則過渡艙門無法開啟，如強(qiáng)行開啟會嚴(yán)重?fù)p壞過渡艙密封圈。

11、對過渡艙抽真空時(shí)，必須保證過渡艙內(nèi)沒有放置密閉常壓（易碎）容器，以免損壞。

12、在對氣體凈化系統(tǒng)進(jìn)行還原處理時(shí)必須保證有混合氣體和惰性氣體氣源，否則不能啟動系統(tǒng)的還原程序。

13、氣體凈化系統(tǒng)的冷卻水出口必須為常開，不得安裝閥門或堵上。

14、氣體凈化系統(tǒng)在進(jìn)行凈化程序時(shí)必須保證箱體與氣體凈化系統(tǒng)之間的連接管道是暢通的。

15、氣體凈化系統(tǒng)的廢氣排出口應(yīng)單獨(dú)連接，將廢氣排出室外或妥善處理。

16、真空泵在使用時(shí)須按說明書上的要求操作并保證有足夠的真空泵油。當(dāng)真空泵油需要添加或更換時(shí)，請使用真空泵專用油或該真空泵的原裝真空泵油。