一、半導(dǎo)體設(shè)備的基本原理和工作方式

半導(dǎo)體設(shè)備工作原理基于能帶理論，即在半導(dǎo)體中存在價(jià)帶和導(dǎo)帶，其中價(jià)帶是半導(dǎo)體材料中的原子，而導(dǎo)帶中的原子在半導(dǎo)體中被加熱或激發(fā)后被激發(fā)到價(jià)帶之外。當(dāng)外部電荷作用于半導(dǎo)體中時(shí)，它可以改變電子在能帶中的分布，導(dǎo)致電導(dǎo)率的變化。

半導(dǎo)體設(shè)備具有重要的電子功能，如場(chǎng)效應(yīng)管、整流器、功率放大器和發(fā)光二極管?；诓煌瑧?yīng)用需要，半導(dǎo)體設(shè)備可以通過材料、結(jié)構(gòu)、工藝等方面做出不同的改進(jìn)和針對(duì)性設(shè)計(jì)。

二、半導(dǎo)體設(shè)備核心部件是什么

據(jù)統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)主要分為 8 大類。包含：氣液流量控 制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學(xué)系統(tǒng)、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系 統(tǒng)、其他集成系統(tǒng)及關(guān)鍵組件，每個(gè)子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成。

不同半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件有所不同。例如：光刻機(jī)的核心零部件包括工作臺(tái)、投影物鏡、光源 等，而等離子體真空設(shè)備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括 MFC、射頻電源、真空泵、ESC 等。