一、半導體設備的基本原理和工作方式

半導體設備工作原理基于能帶理論，即在半導體中存在價帶和導帶，其中價帶是半導體材料中的原子，而導帶中的原子在半導體中被加熱或激發(fā)后被激發(fā)到價帶之外。當外部電荷作用于半導體中時，它可以改變電子在能帶中的分布，導致電導率的變化。

半導體設備具有重要的電子功能，如場效應管、整流器、功率放大器和發(fā)光二極管?；诓煌瑧眯枰?，半導體設備可以通過材料、結構、工藝等方面做出不同的改進和針對性設計。

二、半導體設備核心部件是什么

據統(tǒng)計，半導體設備的關鍵子系統(tǒng)主要分為 8 大類。包含：氣液流量控 制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)、光學系統(tǒng)、電源及氣體反應系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng)、晶圓傳送系 統(tǒng)、其他集成系統(tǒng)及關鍵組件，每個子系統(tǒng)亦由數量龐大的零部件組合而成。

不同半導體設備的核心零部件有所不同。例如：光刻機的核心零部件包括工作臺、投影物鏡、光源 等，而等離子體真空設備（PVD、CVD、刻蝕）的核心零部件包括 MFC、射頻電源、真空泵、ESC 等。