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快速退火爐的主要功能和特點有哪些 快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

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摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,從而消除晶圓或者材料內(nèi)部的一些缺陷,改善產(chǎn)品性能。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點有哪些以及快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹,感興趣的小伙伴趕緊點進(jìn)來看看吧!

一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退火爐是用于快速熱處理、熱氧化處理、高溫退火的設(shè)備,采用先進(jìn)的微電腦控制系統(tǒng),采用PID閉環(huán)控制溫度,可以達(dá)到極高的控溫精度和溫度均勻性,并且可配置真空腔體,也可根據(jù)用戶工藝需求配置多路氣體。

主要功能和特點:

1、可視化7寸觸摸屏,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便。

2、爐體配備高精度移動平臺,運行平穩(wěn)無抖動。

3、爐管可自由移動,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能、減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能、當(dāng)爐管移出爐膛時冷確風(fēng)扇啟動,可實現(xiàn)試樣的迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗要求。

4、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時,升溫速度快,最高溫度可達(dá)1050℃。

5、預(yù)留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用。

6、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,與計算機(jī)互聯(lián),可實現(xiàn)單臺或者多臺電爐的遠(yuǎn)程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能。

7、設(shè)置超溫報警并斷電,漏電保護(hù),操作安全可靠。

二、快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后,再來看看快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹吧!

1、快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN)。

2、離子注入/接觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化處理。

5、化合物合金(砷化鎵、氮化物等)。

6、多晶硅退火。

7、太陽能電池片退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴(kuò)散。

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